| 以下仅列出文章摘要、提纲简介，如需获取全文阅读权限，或原创定制、长期合作，请随时联系。 微信QQ:312050216 |
 |
 |
| 微电子工艺中的清洗技术现状与展望 摘要：在科学技术的推动下，微电子工业获得了飞速发展，目前电子元件的集成度越来越高。电子产品在制造过程中受到不利因素影响，容易产生较多的污染物，会影响到电子产品的功能发挥，要进行有效的清洗才可以。文章先介绍微电子工艺中清洗技术的重要性，再分析目前现状并对未来技术发展进行展望，不断提升清洗技术水平，促进微电子行业更好发展。 关键词：微电子工艺；清洗技术；现状与展望 |
